雙級(jí)型的滑閥泵,,實(shí)際上是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來的,。它的高、低真空室在同一泵體上,,有的是直接鑄成一個(gè)整體,,是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室,。
滑閥泵亦分單級(jí)泵和雙級(jí)泵兩種,,有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。單級(jí)泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級(jí)泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa,。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級(jí)形式,。這種泵可單獨(dú)使用,也可作其它泵的前級(jí)泵用,。
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