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六氟化硫 （SF6)
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項(xiàng)目名稱 |
純度指標(biāo)（%） | ||
| 六氟化硫 | ≥99.999 |
≥99.99 |
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雜質(zhì)含量（ppm)
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空氣（Air） |
≤5 | ≤30 |
| 水（H2O） | ≤1 |
≤1 |
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四氟化碳（CF4) |
≤4 | ≤30 | |
| 酸度（Acidity) | ≤0.1 |
≤0.1 |
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可水解氟化物（以HF計(jì)） |
≤0.1 | ≤0.2 | |
| 礦物油（Mineral Oil） | ≤0.5 |
≤0.5 |
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| 名稱 | 化學(xué)式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 容器規(guī)格(L) | 閥門|螺紋出口 | 容器尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.99 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 10kg | 10L | PX-32|G5/8 | 22×70 | 10 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 20kg | 15L | PX-32|G5/8 | 22×95 | 13 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.995 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.999 | 4 | 10kg | 10L | PX-32|G5/8 | 22×70 | 10 |
| 六氟化硫 | SF6 | 99.999 | 4 | 50kg | 40L | PX-32|G5/8 | 29×145 | 50 |
包裝：采用40L,、44L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要,，分裝到2-10L的氣瓶中,。
用途：在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源，不會產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品,；變壓器中的絕緣介質(zhì),；金屬冶煉中的保護(hù)氣氛。
理化性質(zhì): 六氟化硫（SF6）常態(tài)下是一種無色,、無味,、無嗅、無毒的非燃燒性氣體,，分子量146.06,，密度6.139g/l，約為空氣的5倍,。是已知化學(xué)安定性好的物質(zhì)之一,，其惰性與氮?dú)庀嗨啤Ｋ哂袠O好的熱穩(wěn)定性,，純態(tài)下即使在500℃以上也不分解,。六氟化硫具有卓越的電絕緣性和滅弧特性，相同條件下,，其絕緣能力為空氣,、氮?dú)獾?.5倍以上，滅弧能力為空氣的100倍,。六氟化硫的熔點(diǎn)為－50.8℃,，可作為－45－0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑，又因其耐熱性好,，是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體,。
注意事項(xiàng)：
密閉操作,，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程,。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠(yuǎn)離易燃,、可燃物,。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸,。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備,。
儲存注意事項(xiàng)：儲存于陰涼,、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種,、熱源,。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物,、氧化劑分開存放,，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備,。
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