酸 / 四氟化鈦
一,、介紹
CAS號: 7783-63-3
英文名稱: Titanium tetrafluoride
中文名稱: 四氟化鈦 /酸
中文同義詞: 四氟化鈦;酸;氟化鈦(IV);四氟化鈦
CBNumber: CB5108611
分子式: F4Ti
分子量: 123.86
二、物理性質
熔點 : >400°C
沸點 : 284°C
密度 : 2.798 g/mL at 25 °C(lit.)
化學性質 白色粉末
三,、用途
1,、用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學氣體沉積,,以制作低電阻,、高熔點的互連線。
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