高純水設(shè)備制備高純水的基本原理 一般在給水中含有四種雜質(zhì),，現(xiàn)就高純水設(shè)備去除方法分述如下： (1)溶解的無(wú)機(jī)鹽 有鈉,、鈣、鎂等鹽類(lèi),，溶于水形成正離子,。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面,，造成短路,。過(guò)去除去水中無(wú)機(jī)鹽是將水蒸餾,，但就是三次重蒸餾水，水的電阻率僅3兆歐—厘米,，水中仍含有大于01ppm的NaCl,。近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹(shù)脂,。陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分別使用,，易于再生，混合床離子交換樹(shù)脂用在離子交換的終級(jí),，起把關(guān)的作用,。這樣出來(lái)的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度)。 (2)溶解的有機(jī)物 有工業(yè)排出污物,、洗滌劑,、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用吸附方法除去,。炭床要置于離子交換樹(shù)脂之前,，因本身會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)。必須注意,，進(jìn)入樹(shù)脂床的水要先除去有機(jī)物,，因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物,，分子量小于300的有機(jī)物可除去90%,。 (3)粒子物質(zhì) 很多地方都容易產(chǎn)生，如炭床,、樹(shù)脂床,、深層過(guò)濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率,，但沒(méi)有有效地除去粒子物質(zhì),。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路,、斷路,、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì),，只有用膜濾,，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,，除去膠體鐵,、膠體硅和小細(xì)菌。反滲透也能除去小粒子。 (4)微生物 可看作粒子態(tài)物質(zhì),。但微生物在適宜條件下會(huì)迅速繁殖,。在炭床和樹(shù)脂床內(nèi)，當(dāng)有機(jī)物積累較多時(shí),，微生物繁殖特別迅速,。倘若不限制在一個(gè)范圍以?xún)?nèi)，就會(huì)妨礙炭濾的進(jìn)行和嚴(yán)重污染離子交換樹(shù)脂,。甚至當(dāng)水分蒸發(fā)時(shí),，在炭床和樹(shù)脂床內(nèi)，由于微生物的代謝產(chǎn)物而形成硬膜,。對(duì)于離子交換樹(shù)脂,，再生時(shí)用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿可以殺死細(xì)菌等微生物,，若再生周期長(zhǎng),，效果就要差些。對(duì)混合樹(shù)脂床,，微生物的處理則比較麻煩,。 各式{水處理設(shè)備}型號(hào)齊全售后服務(wù)熱線(xiàn)18089282340