高純水設(shè)備制備高純水的基本原理 一般在給水中含有四種雜質(zhì),，現(xiàn)就高純水設(shè)備去除方法分述如下： (1)溶解的無機(jī)鹽 有鈉、鈣,、鎂等鹽類,，溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時,，會使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面,，造成短路。過去除去水中無機(jī)鹽是將水蒸餾,，但就是三次重蒸餾水,，水的電阻率僅3兆歐—厘米，水中仍含有大于01ppm的NaCl,。近有用反滲透法去離子,。所以要用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用,，易于再生,，混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級，起把關(guān)的作用,。這樣出來的水可達(dá)18兆歐—厘米(25攝氏度),。 (2)溶解的有機(jī)物 有工業(yè)排出污物、洗滌劑,、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物,。這些可以用吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹脂之前,，因本身會帶來雜質(zhì),。必須注意，進(jìn)入樹脂床的水要先除去有機(jī)物,，因為離子交換樹脂易為有機(jī)物(如腐殖酸)污染,。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可除去90%,。 (3)粒子物質(zhì) 很多地方都容易產(chǎn)生,，如炭床,、樹脂床、深層過濾等一些設(shè)備,。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率,，但沒有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔,、短路,、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷,。除去粒子物質(zhì),，只有用膜濾，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,，除去膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌,。反滲透也能除去小粒子,。 (4)微生物 可看作粒子態(tài)物質(zhì)。但微生物在適宜條件下會迅速繁殖,。在炭床和樹脂床內(nèi),，當(dāng)有機(jī)物積累較多時，微生物繁殖特別迅速,。倘若不限制在一個范圍以內(nèi),，就會妨礙炭濾的進(jìn)行和嚴(yán)重污染離子交換樹脂。甚至當(dāng)水分蒸發(fā)時,，在炭床和樹脂床內(nèi),，由于微生物的代謝產(chǎn)物而形成硬膜。對于離子交換樹脂,，再生時用強(qiáng)酸,、強(qiáng)堿可以殺死細(xì)菌等微生物，若再生周期長,，效果就要差些,。對混合樹脂床，微生物的處理則比較麻煩,。 各式{水處理設(shè)備}型號齊全售后服務(wù)熱線18089282340