二氯二氫硅 (SiH2Cl2)
項(xiàng)目名稱
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純度指標(biāo)(%) | |
二氯二氫硅 |
≥99.7
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雜質(zhì)含量(ppm)
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一氯甲硅烷(CH5ClSi)
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≤800 |
三氯氫硅(SiHCl3) |
≤2000
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≤300 | |
惰性氣體(Inert Gases) |
≤1000
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其他(Others)
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≤2
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包裝:采用44L鋼瓶充裝,,也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中,。
用途:用作電子氣、外延,、化學(xué)氣相淀積,。
理化性質(zhì): 二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體,。空氣中易燃,,100℃以上能自燃,,燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時(shí)會自行分解而生成,、氯,、氫和不定性硅。施以強(qiáng)烈撞擊時(shí)也會自行分解,。在濕空氣中產(chǎn)生腐蝕性煙霧,。遇水水解生成和聚硅氧烷(SiH2O)4??扇苡?、與堿、,、起反應(yīng),。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會發(fā)生激烈反應(yīng)。與三烷基胺,、吡啶形成加成化合物,。與三氟化銻反應(yīng)生成氟硅烷。
注意事項(xiàng):氣體用鋼瓶貯裝,,鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)的室外或強(qiáng)制通風(fēng)的室內(nèi),,要遠(yuǎn)離氧化劑、火源和熱源,。設(shè)備管道等使用前須脫水和密封,。可用氦探漏器,、氨或本身的窒息性氣味來檢漏,。所有設(shè)備管道要接地。設(shè)備或裝置暫時(shí)不用或延長停產(chǎn)時(shí)間時(shí),,應(yīng)把二氯硅烷放出來,,充入干燥的惰性氣體。有水分時(shí)二氯硅烷呈強(qiáng)酸性,,腐蝕性極強(qiáng),。對無水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼,、鎳鋼,、銅鎳合金、鎳,、海帕倫,、蒙乃爾,、銀、金,、鉑,、鉭。不能用鋁,、鋁合金,、銅硅合金、黃銅等,??梢杂镁鬯姆蚁⒕廴然蚁┚酆象w,、天然橡膠,、玻璃、瓷料,、石墨等,。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí),,首先要關(guān)閉氣瓶閥,斷絕氣源,。滅火時(shí),,如果用水,則產(chǎn)生大量氯化氫,,如果用堿性粉末,,則產(chǎn)生,因此這兩者都不可用,??梢杂枚趸己蜕白印U氣可用水或苛性鉀等堿液吸收,,可以用相應(yīng)的吸附劑吸附,,也可以在嚴(yán)格控制下燃燒。

二氯二氫硅氣體