美國博曼（Bowman）半導(dǎo)體膜厚測試儀結(jié)合了大功率X射線管和高分辨率探測器，能夠滿足多鍍層,、復(fù)雜樣品和微小測試面積的檢測需求,。
電制冷固態(tài)探測器確保的信/躁比，從而降低檢測下限,。
探測器分辨率極高,，能更容易地識別,、量化和區(qū)分相鄰的元素。有害元素檢測結(jié)果可精確到ppm級,，確保產(chǎn)品滿足環(huán)保要求,，幫助企業(yè)降低高昂的產(chǎn)品召回成本和法令執(zhí)行成本。
您可以針對您的應(yīng)用選擇合適的分析模型：經(jīng)驗系數(shù)法,、基本參數(shù)法或兩者結(jié)合,。這款儀器能對電子產(chǎn)品上的關(guān)鍵組裝區(qū)域進(jìn)行快速篩選性檢測。一旦識別出問題區(qū)域,，即可對特定小點進(jìn)行定量分析,。大型樣品艙能夠靈活地檢測大件或形狀不規(guī)則的樣品，大艙門使樣品更易放入,。
美國博曼（Bowman）半導(dǎo)體膜厚測試儀的產(chǎn)品特點：可檢測元素范圍：AL13 – U92.可同時測定5層/15種元素/共存元素校正.即放即測,！通過自動定位功能，放置樣品后僅需幾秒,，便能自動對準(zhǔn)觀察樣品焦點,。10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量！以的設(shè)計實現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度,，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1,、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度,。無標(biāo)樣測量,！將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴充，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測量,。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品,。通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測量位置！通過廣域觀察系統(tǒng),，能夠從畫面上的樣品整體圖（大250×200mm）中方便地指定測量位置
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