凈化工程是指控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,此空間我們稱之為潔凈室,。
潔凈室狀態(tài)有以下可分為三個:
空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施),。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備,。
靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),,可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),,但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,,服務(wù)功能完善,,有設(shè)備和人員;如果需要,,可從事正常的工作,。
潔凈室可根據(jù)不同的情況使用不同的工作原理
亂流式
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,,將污染空氣逐漸稀釋,,來實現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計在千級以上至30萬級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別,。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,,凈化級別越高)
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,,潔凈室之?dāng)U充比較容易,,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,,提高潔凈室等級,。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間,。
層流式
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重,。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。
缺點:建造費用比亂流式高,,室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,,空氣由上往下吹,,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域,。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),,不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,,天花板之吊架相當(dāng)占空間,,維修更換過濾器較麻煩。
復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,,可提供局部超潔凈之空氣,。
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